Corning створила скло з мінімальним коефіцієнтом теплового розширення
Цього разу йдеться не про чергове захищене скло для гаджетів, а про свіжий матеріал з вкрай низьким рівнем теплового розширення, призначений для застосування в сучасних літографічних системах, що працюють на технологіях Low-NA і High-NA EUV.
Цей новий матеріал, названий Extreme ULE, буде використовуватися при створенні фотошаблонів та дзеркал для літографії для майбутніх поколінь пристроїв.
Основною перевагою Extreme ULE є його мінімальний коефіцієнт теплового розширення, що дозволяє досягти високої однорідності у виробництві фотошаблонів.
Як зазначено в офіційному повідомленні, його ідеальна площинність і рівномірність суттєво зменшують хвилястість, знижуючи рівень небажаних відхилень, що дає можливість наносити передові покриття.
Джерело: corning